光伏芯片化学气象沉积制程上下货系统
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产品名称: 光伏芯片化学气象沉积制程上下货系统
产品型号: Model 3772
产品展商: Chroma
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简单介绍
通常用于晶片常压化学气象沉积制程。在常压化学气象沉积制程中，致茂可提供自动化上下晶片的传输设备，并以破片率小于0.1％，高产量和低成本的特性来满足客户对常压化学气象沉积制程功能要求。
光伏芯片化学气象沉积制程上下货系统
的详细介绍
主要特色：
- 破片率：< 0.1%
- 产量：> 2400 pcs/hr
- 上货载具：Cassette
- 下货载具：Cassette
