光伏芯片扩散制程上下货及检测系统
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产品名称: 光伏芯片扩散制程上下货及检测系统
产品型号: Model 3775
产品展商: Chroma
产品文档: 无相关文档
简单介绍
通常用于芯片磷扩散的炉管制程。在扩散制程中致茂可提供客户使用短版的晶舟， 或长版晶舟来上下载具的传输设备。芯片的传送使用高速富挠性的取放机器人。致茂在扩散过程中提供的载具传输设备，低破片率，高产量和低成本可满足客户的扩散制程功能要求。
光伏芯片扩散制程上下货及检测系统
的详细介绍
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主要特色：
- 低破片率
- 高产量
- 机器人传送取放
- 表面检查：选配
- 上货载具：石英晶舟
- 下货载具：Manz盒 / Cassette(选项)
